三坐標測量機一般都采用氣浮軸承，因此需要壓縮空氣。三坐標測量機對氣源有要求，壓縮空氣的質量直接影響三坐標測量機的正常工作及使用壽命，因此氣源處理，就顯得尤為重要。
 

　　三坐標測量機對氣源要求如下：

　　供氣量：100升/分

　　供氣壓力：0.49—0.58MPa

　　壓縮空氣溫度：20℃±5℃

　　壓縮空氣濕度：不大于15%

　　壓縮空氣過濾精度1um，壓縮空氣濕度太大將引起空氣軸承銹蝕，含有顆粒雜質將導致空氣軸承小孔堵塞。

　　一般來說，三坐標測量機的氣源的雜主要是由系統(tǒng)外部通過空壓機等吸入的雜質、系統(tǒng)內(nèi)部產(chǎn)生的雜質和系統(tǒng)安裝和維修時產(chǎn)生的雜質;

　　從空壓機輸出的壓縮空氣中，含有大量的水分，油分和粉塵等雜質，必須適當?shù)那宄@些雜質，以避免他們對氣動系統(tǒng)的正常工作造成的危害;

　　變質油分的粘度增大，從液態(tài)鑄件固態(tài)化而形成油泥，這樣會堵塞氣浮塊的氣孔，造成氣動元件內(nèi)的相對運動件的動作不靈活。水分會腐蝕金屬零件，管道內(nèi)滯留冷凝水，會導致流量不足，壓力損失增大。鐵屑和粉塵使運動部件磨損，造成元件動作不良，粉塵會加速密封件損傷，導致漏氣。

　　空氣質量不良也是氣動系統(tǒng)出現(xiàn)故障的主要的因素，使氣動系統(tǒng)的可靠性和使用壽命大大降低。因此，三坐標測量機一般都配備氣源處理組件，進行壓縮空氣的凈化處理。